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陳寶欽

一、人物介紹

陳寶欽，男，82歲，中共黨員，畢業(yè)于北京大學物理系，中國科學院微電子研究所研究員、教授。兼職中國科學院大學教授、全國半導體設備與材料標準化技術委員會微光刻分委會秘書長。從事微光刻與電子束光刻技術研究。陳寶欽教授親歷中國光刻技術發(fā)展六十年，踐行他年輕時許下的諾言：要健康為祖國工作五十年，他做到了。在這幾十年中，他堅持做好每一件簡單而平凡的事,堅守著微電子微光刻陣地,為微電子科技攀登事業(yè)背了一輩子氧氣瓶,沉淀下了厚實的人生。正如其言，從青年時代到耄耋之年，參與到了諸多微光刻技術研究中，將自己的研究經(jīng)歷總結為一輩子就干一件事：光掩模制造與光刻技術，見證了中國微電子技術特別是光刻技術的從無到有的發(fā)展整個過程。

二、事跡介紹

陳寶欽年輕時，為了響應毛主席關于青年知識分子要向工農(nóng)兵學習的號召，到環(huán)衛(wèi)工人時傳祥那里一起背大糞，到北京市昌平縣南口鎮(zhèn)高崖口溜石港大隊與山區(qū)農(nóng)民同吃同住同勞動，到東北遼寧省海城3174部隊農(nóng)場勞動鍛煉……。最臟、最苦、最累、最危險的活都干過，所有的這些磨煉都給自己的人生留下了豐富的精神財富。而且陳寶欽老師還說，他這一輩子還有一個最有意思、最有意義的最，就是從事了一輩子半導體、微電子、微光刻、電子束光刻、微納米加工技術的科研工作及培養(yǎng)研究生和青少年科普工作。

青年陳寶欽(左三)與時傳祥合影

背一輩子“氧氣瓶”

“我們這一代人年輕時既有當科學家工程師的理想，也都樹立過這樣的志向：甘當攀登科學高峰征途上背氧氣瓶的營員;甘為祖國建設大業(yè)中的鋪路石子和一磚一瓦;甘做國家偉大工程中一顆永不生銹的螺絲釘;弘揚甘為人梯、獎掖后學的育人精神! ”陳寶欽這么說，也是這么做的。從微米到納米、從光學到電子束、從指導學生到科普教育，陳寶欽親歷了光刻技術發(fā)展六十年。

微電子芯片制造技術是世界加工技術的珠穆朗瑪峰，攀登科學高峰需要“氧氣”，而陳寶欽甘愿做那個背“氧氣瓶”的人。在微光刻尤其是電子束光刻領域，他和我國一批從事微納米加工技術的科技工作者一道，為能完美實現(xiàn)更小尺寸而不斷努力。

從手術刀人工刻出最細線條0.2毫米，到采用傳統(tǒng)光學光刻0.5微米;從1K、4K、16K、64K、1M，到超大規(guī)模集成電路;從1微米級傳統(tǒng)光學光刻，到100納米移相掩模曝光實驗，直到現(xiàn)在采用電子束光刻系統(tǒng)直寫10納米，能找到5納米(電子束加工極限)。陳寶欽這一輩子就干一件事：光掩模制造與光刻技術。

陳寶欽研究集成電路板

為祖國健康工作50年

陳寶欽年輕時承諾：“要健康地為祖國工作五十年!”他做到了，同樣付出了代價。

1963年，他跟隨勞動模范時傳祥一起背大糞，每周末從北京大學步行三小時至龍?zhí)逗?，在寒冷的冬天，把裝有百八十斤糞湯的大糞桶搖上糞車，一失手，大糞桶從頭上扣下來，他意外被糞車鐵搖棒打斷了兩顆門牙。

1965年，他參加“四清”工作隊，吃了兩年樹葉，體重只剩下96斤。

1970年，他負責電子束蒸發(fā)工藝，蒸發(fā)臺發(fā)生X射線泄漏，檢測儀檢測時爆了表。經(jīng)估算，他承受了超過兩輩子允許的倫琴射線積累劑量。果不其然，醫(yī)院檢查結果顯示其造血功能受到嚴重損傷，白血球剩下1100，體溫不到36攝氏度，脈搏不到50，血壓只有60/90，其他血相全部偏低。他憑借自身強大的修復功能，花了30年各血項指標奇跡般地全部恢復正常。

陳寶欽說：“無論是掏大糞、還是吃樹葉、還是勞動改造，還是當一個共產(chǎn)黨員、還是做科研工作者、還是當教師、還是干社會工作，任何簡單和平凡的事情都要認認真真把它搞好，就是對社會有貢獻有價值的?！?陳寶欽說：“我是一個老共產(chǎn)黨員，要用簡單而平凡的點點滴滴實踐出自己厚重的人生，要無愧于《共產(chǎn)黨員》這個稱號!我們每個共產(chǎn)黨員最基本的就應該做到愛黨、愛國、愛民、敬業(yè)、廉潔、奉公，必須的!只有這樣我們的黨才能永遠興旺發(fā)達，我們的民族才能昂首屹立于世界民族之林，不受欺辱?！?/p>

做科普，樂在其中

桃李不言，下自成蹊。作為一個教授和博士生導師，陳寶欽卻自嘲“遠看像撿破爛的，近看原來是中科院的”。他日常穿著幾十塊錢的衣褲，物質(zhì)上無所求，卻將錢無利息、無條件、無限期、無借條借給留所工作的學生，前后共支持十余名學生在京落戶買房，以解決后顧之憂。

“魔方是一種非常好的現(xiàn)代科學教具?！标悓殮J喜歡研究魔方，并用通俗易懂的語言總結出一套套技巧和公式以及一整套魔方與科學的教程，從小培養(yǎng)孩子探索鉆研精神和挑戰(zhàn)自我不服輸?shù)木?。成都七中一學生聆聽完有關“微電子技術及魔方為例談學習方法”為題的精彩講座后，留言道：“陳爺爺豐富的人生經(jīng)歷與神奇的魔方知識，使在座的我們受益匪淺，讓人不禁在心中升起一團想要接替優(yōu)秀前輩、報效祖國的熱火?！?/p>

陳寶欽(左一)教授學生魔方還原方法

做微電子科學技術“播種機”

雖已至耄耋，陳寶欽的精力和心態(tài)依舊年輕。陳寶欽的日程表，被《微電子制造工藝與裝備技術》課程和微電子相關科普講座填得滿滿當當。他每年在全國各地開展近百場義務科普講座，自帶“干糧”，自掏腰包，樂此不疲。

在中國科學院第三幼兒園為小朋友作《微電子與太空探索》的科普講座后，一位四歲的小朋友拉著他的手親昵地喊陳爺爺，“我是您的鐵粉”。這位小朋友的母親事后反饋，孩子回家后念念不忘陳爺爺?shù)闹v座，說要聽陳爺爺?shù)脑?，努力學習，將來考上國科大，考微電子學院的研究生，將來好接替陳爺爺研究微電子科學!陳寶欽知曉后深受觸動。

科學夢想的種子不經(jīng)意間播撒進孩子的心田，一次尋常講演潛移默化中有可能改變了一個學生的人生。每每看到孩子們眼里迸射出的亮光，陳寶欽心底油然而生滿滿成就感。他說，大學生和研究生是中國微電子2030年前的主力軍，幼兒園的娃娃是中國2050年的主力軍，微電子方面缺人才近百萬，微電子科普要從娃娃抓起，希望將來在他們中間能成長出微電子科技工匠!